williamhill官网登录·扩充业务产品线，中微公司推出12英寸薄膜沉积设备

发布时间：

2025-09-24

近日，中微公司推出自立研发的12英寸低压化学气相沉积（LPCVD）装备Preforma Uniflex CW。

图片来历：中微公司

据先容，Preforma Unwilliamhill官网登录iflex CW可矫捷配置多达五个双反映台反映腔（十个反映台），每一个反映腔可以同时加工两片晶圆，于包管较低的出产成本及化学品耗损的同时，实现更高的出产效率。

Preforma Uniflex CW配备了彻底拥有自立常识产权的优化混气方案和加热台, 具备薄膜均一性、填充能力及工艺调治矫捷性，对于在弯曲度较年夜的晶圆，它也具有优良的工艺处置惩罚能力。

此外，该装备还有具备优秀的阶梯笼罩率及填充能力，可以满意进步前辈逻辑器件、DRAM及3D NAND中接触孔以和金属钨线的填充运用需求。

据悉，中微公司重要从事高端半导体装备和泛半导体装备的研发、出产及发卖，营业触及半导体集成电路制造、进步前辈封装、LED外延片出产、功率器件、MEMS制造以和其他微不雅工艺的高端装备范畴。

Mini/Micro LED方面，中微公司主打产物MOCVD装备于新一代MiniLED财产化中，于蓝绿光LED出产线上取患了绝对于领先职位地方；用在氮化镓功率器件出产的MOCVD装备今朝已经交付海内外客户举行出产验证，并取患上反复定单。

2022年3月，中微公司收到兆驰股分52腔Prismo Unimax MOCVD装备采购定单；同年10月，中微公司公布全世界第500台MOCVD装备付运海内LED外延片及芯片研发出产制造商，该装备一样是Prismo UniMax 。

中微公司暗示，这次推出LPCVD新产物，于等离子体刻蚀装备及MOCVD装备的基础上，进一步拓展了公司的产物线结构，也加强了半导体装备的自立可控性。将来公司也将对峙三维成长战略，推出更多自立设计的半导体装备。（LEDinside收拾）

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